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設備型號

JSZ-10-16

JSZ-15-16

JSZ-15-16

JSZ-20-16

JSZ-20-16

高溫度

1600℃

1600℃

1600℃

1600℃

1600℃

控制精度

±1℃

±1℃

±1℃

±1℃

±1℃

爐膛尺寸（mm）

(W×H×L)

200*200*500

250*300*1170

300*300*1560

320*320*1600

300*350*1700

發熱元件

Φ6*210*210*30

U型硅鉬棒

Φ6*320*270*30

U型硅鉬棒

Φ6*340*270*30

U型硅鉬棒

 Φ6*370*270*30

U型硅鉬棒

真空度

66.6pa

66.6pa

66.6pa

66.6pa

66.6pa

冷態壓升率

≦10～20pa/h

≦10～20pa/h

≦10～20pa/h

≦10～20pa/h

≦10～20pa/h

大功率

22Kw

78kw

90kw

96kw

105kw

溫控方式

可控硅模塊自控